中國儀器進出口集團 對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024-04-30在公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:設備名稱：多靶濺射機設備數量：1臺設備用途：該設備主要用于硅平面、介質層及金屬層表面Ti、Au、Pt、Cr等粘附層、阻擋層、與種子層的磁控濺射工藝，以及需要采用shadow mask濺射工藝來制備PAD、鏡面等。資金到位或資金來源落實情況:資金已到位項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內容招標項目編號:0709-244035614025招標項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產線之多靶濺射機項目實施地點:中國安徽省招標產品列表(主要設備):
3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:（1）投標人是響應招標、已在招標人或招標機構處領購招標文件并參加投標競爭的法人或其他組織。任何未在招標人或招標機構處領購招標文件的法人或其他組織均不得參加投標。（2）凡是來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿易往來的國家或地區的法人或其他組織均可投標。（3）與招標人存在利害關系可能影響招標公正性的法人或其他組織不得參加投標。（4）接參與項目前期咨詢和招標文件編制的法人或其他組織不得參加一家代理商參與本項目投標。同一品牌的制造商和代理商不能同時參加本項目的投標。（11）投標人可以是設備制造廠家或設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書；并且具有設備技術支持和服務能力。（12）投標人可以是設備制造廠家或設備再制造廠商，也可以是設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書；并且具有設備技術支持和服務能力。要求2020年至今同類型設備出貨量與驗收數量大于【5】臺，國產設備與再制造廠商提供合同和驗收材料，進口全新設備出具蓋章的業績說明材料。是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
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| 序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
| 1 | 多靶濺射機 | 1套 | 機臺規格為全新機臺，適用晶圓尺寸：8英寸，notch，基片托盤：≥10個，預真空室可裝載至少10個基片托盤，每個基片托盤可裝載1片基片； 設備配置：磁控陰極≥4個，陰極靶材尺寸≥6英寸；具有Loadlock（裝載模塊）；傳輸模塊裝有機械手，可實現晶圓在Loadlock（裝載模塊）和工藝模塊之間的傳輸；具備反濺清洗功能及加熱除氣功能； 高真空腔室：配置腔室防污罩（Processkits）4套以上，以及配備觀察窗； |
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