蘇美達國際技術貿易 對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024-05-10在公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:設備名稱：低應力氮化硅生長爐、原位摻雜多晶硅生長爐設備數量：設備1 原位摻雜多晶硅生長爐（1臺）：包含低應力多晶硅/多晶硅/原位摻雜多晶硅工藝模塊和TEOS工藝模塊；設備2 低應力氮化硅生長爐（1臺）：包含低應力氮化硅工藝模塊和氮化硅工藝模塊。設備用途：用于生長低應力氮化硅/原位摻雜多晶硅/低應力多晶硅/多晶硅/TEOS薄膜。資金到位或資金來源落實情況:已到位項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內容招標項目編號:0664-2440SUMECF28/06招標項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產線之低應力氮化硅生長爐和原位摻雜多晶硅生長爐項目實施地點:中國安徽省招標產品列表(主要設備):
3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:① 投標人如為境內企業，提供企業法人營業執照或事業單位法人證書，如為境外企業提供企業注冊登記證。② 投標人可以是設備制造廠家，也可以是設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書。③ 投標人開戶行開具的，出具日期在開標前三個月內的資信證明原件或該原件的復印件。④ 投標人需要具有履行合同所必需的設備技術支持和服務能力（提供承諾書，格式自理）。⑤ 單位負責人授權書原件。是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
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編輯：chinabidding.co
| 序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
| 1 | 低應力氮化硅生長爐 | 1 | 薄膜應力范圍 -40~＋40MPa (4μm Poly退火后，應力可調)。其他參數詳見第八章 | 無 |
| 2 | 原位摻雜多晶硅生長爐 | 1 | 應力范圍 -100~0MPa，應力可調。其他參數詳見第八章 | 無 |
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