上海中世建設咨詢 對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2025-07-08在公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:實現MEMS智能傳感器開發中環境與生化檢測需求，完成大量微納尺度硅基材料與介質薄膜的高精度刻蝕加工任務。資金到位或資金來源落實情況:已落實項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內容招標項目編號:1069-254Z20252825招標項目名稱:華東理工大學化學機械拋光機采購項目項目實施地點:中國上海市招標產品列表(主要設備):
3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:1） 投標人或制造商（如適用）有效的營業執照2） 本次招標所涉及到的產品若非自主研發生產，投標人須提供制造商針對本項目的授權書3）參加本次招標活動前3年內，投標人在經營活動中沒有違法記錄，無利用不正當競爭手段騙取中標，無行賄犯罪記錄；是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
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| 序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
| 1 | 化學機械拋光機 | 1套 | 1. 上電動驅動 a) 垂直定位加載電動驅動,最大垂直行程≥100mm,定位分辨率≤0.5um,速度范圍滿足：0.001-10mm/s b) 水平定位移動電動驅動,最大水平行程≥75mm,定位分辨率≤2um,速度范圍滿足：0.001-10mm/s c) 上旋轉驅動,轉速區間滿足：1-500RPM,最大負載≥40kg,中程扭矩 | / |
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