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          超高真空全自動常溫鍵合機-公開招標(biāo)公告

             日期:2025-11-07     來源:中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)    作者:dlztb    
          核心提示:超高真空全自動常溫鍵合機項目已具備招標(biāo)條件,招標(biāo)項目資金已落實。中科信工程咨詢(北京) (招標(biāo)代理機構(gòu))受中國航空工業(yè)集
          超高真空全自動常溫鍵合機項目已具備招標(biāo)條件,招標(biāo)項目資金已落實。中科信工程咨詢(北京) (招標(biāo)代理機構(gòu))受中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所(招標(biāo)人)的委托,對該項目進行國際公開招標(biāo)采購。

          1. 招標(biāo)范圍

          1.1 貨物名稱:超高真空全自動常溫鍵合機

          1.2 招標(biāo)編號:0779-25400341A049

          1.3項目概況:

          超高真空全自動常溫鍵合機用于量子傳感、硅光、MEMS等芯片的晶圓級密封封裝工藝,在超高真空環(huán)境中利用高速氬原子或離子轟擊晶圓,除去表面氧化膜及污染物,再施加一定壓力,使兩個表面在超高真空環(huán)境中緊密接觸,形成化學(xué)鍵,實現(xiàn)原子尺度上的牢固結(jié)合,在室溫下實現(xiàn)良好的鍵合,無需后續(xù)退火,消除熱膨脹系數(shù)不匹配造成的熱應(yīng)力問題;更多指標(biāo)詳見第八章技術(shù)規(guī)格。

          關(guān)鍵技術(shù)參數(shù):

          適用于6英寸晶圓,并可擴展至8英寸;

          Mark鍵合對準(zhǔn)精度:≤±2μm;

          鍵合模塊壓力:最大100kN;

          更多技術(shù)指標(biāo)詳見第八章。

          1.4 數(shù)量:1臺。

          1.5 交貨期:合同簽訂生效后10個月內(nèi)交貨。

          1.6 項目現(xiàn)場:中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。

          2. 對投標(biāo)人的資格要求

          2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織,具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任能力。

          2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo),代理商必須獲得制造商的合法授權(quán),提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直接開具的;或制造商的獨資公司開具的(同時須提供制造商與獨資子公司的關(guān)系說明,并由雙方簽字或者蓋章)。

          2.3本項目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

          2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機構(gòu)

          3. 招標(biāo)文件獲取

          3.1 如有疑問,請致電中航工業(yè) 服務(wù)熱線400-890-0880。

          3.2 招標(biāo)文件售價人民幣800元或112美元,售后款項不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標(biāo)文件費用,支付后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進入鏈接點擊消費記錄后填寫開票信息),電子發(fā)票將自動發(fā) 潛在投標(biāo)人將付款憑證(形式不限)和發(fā)票上傳交易平臺,經(jīng)招標(biāo)人(代理機構(gòu))確認后,才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。

          3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè) 注冊,辦理CA數(shù)字證書與電子簽章,否則無法投標(biāo)。(詳見中航工業(yè) 相關(guān)說明)。

          4.

          未在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)(www.dlztb.com)上注冊會員的單位應(yīng)先點擊注冊。登錄成功后的在招標(biāo)會員區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說明獲取招標(biāo)文件!
          咨詢電話:010-51957458
          手 機:18811547188
          聯(lián)系人:李楊
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          郵箱:1211306049@qq.com
          來源:中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)
          備注:欲購買招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費后,查看項目業(yè)主,招標(biāo)公告并下載資格預(yù)審范圍,資質(zhì)要求,招標(biāo)清單,報名申請表等。為保證您能夠順利投標(biāo),具體要求及購買標(biāo)書操作流程按會員區(qū)招標(biāo)信息詳細內(nèi)容為準(zhǔn),以招標(biāo)業(yè)主的解答為準(zhǔn)本。
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