1. 招標(biāo)條件
本招標(biāo)項(xiàng)目全自動(dòng)CMP拋光系統(tǒng) 該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對全自動(dòng)CMP拋光系統(tǒng)進(jìn)行國內(nèi)公開招標(biāo)。
2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍
2.1 招標(biāo)編號：ZKX20250341A066
2.2招標(biāo)項(xiàng)目名稱：全自動(dòng)CMP拋光系統(tǒng)
2.3 數(shù)量：1套
2.4 設(shè)備用途及系統(tǒng)組成：
設(shè)備用途：全自動(dòng)CMP拋光系統(tǒng)主要應(yīng)用于量子傳感、硅光、MEMS等含有微納圖形的晶圓加工工藝中實(shí)現(xiàn)均勻性和原子級表面平整的拋光。
系統(tǒng)組成：全自動(dòng)CMP拋光系統(tǒng)主要由EFEM單元、研磨拋光單元、清洗單元機(jī)械傳輸單元等組成。
2.5 交貨地點(diǎn)：中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所指定地點(diǎn)。
2.6 交貨期：合同簽訂4個(gè)月內(nèi)到貨。
3. 投標(biāo)人資格要求：
3.1 投標(biāo)人須具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。
3.2 本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
3.3 本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)。一個(gè)代理商對同一品牌同一型號的設(shè)備，僅能委托一個(gè)代理商參加投標(biāo)。提供制造商針對本項(xiàng)目（帶本項(xiàng)目招標(biāo)編號）的授權(quán)書（原件）。
3.4 財(cái)務(wù)要求：投標(biāo)人應(yīng)附2024年經(jīng)會計(jì)師事務(wù)所或?qū)徲?jì)機(jī)構(gòu)審計(jì)的財(cái)務(wù)會計(jì)報(bào)表，包括審計(jì)報(bào)告正文、資產(chǎn)負(fù)債表、現(xiàn)金流量表、利潤表的復(fù)印件。投標(biāo)人的成立時(shí)間少于上述規(guī)定年份的，應(yīng)提供成立以來的財(cái)務(wù)報(bào)表。投標(biāo)人為科研院所、高等院校等事業(yè)單位的可提供經(jīng)審計(jì)的或單位內(nèi)審的2024年財(cái)務(wù)報(bào)表。
3.5 信譽(yù)要求：投標(biāo)人在經(jīng)營活動(dòng)中，無嚴(yán)重違法失信記錄，具有良好的信譽(yù)。提供相關(guān)證明材料（如信用中國或國家企業(yè)信用信息公示系統(tǒng)或中國執(zhí)行信息公開網(wǎng)的查詢結(jié)果）或信譽(yù)承諾書。
3.6 投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)