1. 招標條件
本招標項目高精度無掩膜光刻系統 該項目已具備招標條件，現對高精度無掩膜光刻系統采購進行國內公開招標。
2. 項目概況與招標范圍
2.1 招標編號：ZKX20260341A012
2.2 招標項目名稱：高精度無掩膜光刻系統
2.3 數量：1臺
2.4 設備用途及系統組成：
設備用途：高精度無掩膜光刻系統采用先進的數字光刻技術，無需掩模版即可直接將圖形轉移到涂有光刻膠的襯底上。該設備具備高套刻精度和高曝光速度的特點，適用于集成光子芯片研發及量產環節中的電極圖形曝光：在快速研發階段，可高效處理大面積、低分辨率要求的電極圖形；在量產階段，因其無需定制掩模板的特性，有助于降低成本和縮短周期，實現高效的電極圖形曝光。
系統組成：高精度無掩膜光刻系統主要由曝光系統，對準系統，環控系統，軟件系統，數據系統五大模塊組成。
2.5 交貨
2.6 交貨期：合同簽訂生效后6個月內。
3. 投標人資格要求：
3.1 投標人須具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照或事業單位法人證書或其它營業登記證書。
3.2 財務要求：投標人應附2024年經會計師事務所或審計機構審計的財務會計報表，包括審計報告正文、資產負債表、現金流量表、利潤表的復印件。投標人的成立時間少于上述規定年份的，應提供成立以來的財務報表。投標人為科研院所、高等院校等事業單位的可提供經審計的或單位內審的2024年財務報表。
3.3 業績要求：投標人所投標設備2022年1月1日至今同品牌同型號的銷售量≥3臺，提供設備銷售業績證明（提供有效的合同首頁、技術協議及驗收報告等證明材料復印件）。
3.4 信譽要求：投標人在經營活動中，無嚴重違法失信記錄，具有良好的信譽。提供相關證明材料（如信用中國或國家企業信用信息公示系統或中國執行信息公開網的查詢結果）或信譽承諾書。
3.5 本次招標不接受聯合體投標。
3.6 本次招標接受代理商投標，一個制造商對同一品牌同一型號的設備，僅能委托一個代理商參加投標。提供制造商的授權書原件。(本設備指“高精度無掩膜光刻系統”)
3.7 投標人必須向招標代理機構