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          鈮酸鋰光波導(dǎo)刻蝕機(jī)-公開招標(biāo)公告

             日期:2026-01-30     來源:中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)    作者:dlztb    
          核心提示:投標(biāo)邀請(qǐng)鈮酸鋰光波導(dǎo)刻蝕機(jī)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。資金情況已落實(shí)。中科信工程咨詢(北京) (招標(biāo)代理機(jī)構(gòu))受中國航空工業(yè)集團(tuán)

          投標(biāo)邀請(qǐng)

          鈮酸鋰光波導(dǎo)刻蝕機(jī)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。資金情況已落實(shí)。中科信工程咨詢(北京) (招標(biāo)代理機(jī)構(gòu))受中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所(招標(biāo)人)的委托,對(duì)該項(xiàng)目進(jìn)行國際公開招標(biāo)采購。

          1. 招標(biāo)范圍

          1.1 貨物名稱:鈮酸鋰光波導(dǎo)刻蝕機(jī)

          1.2 招標(biāo)編號(hào):0779-26400341A013

          1.3 項(xiàng)目概況

          主要用于鈮酸鋰基片及薄膜的高精度刻蝕,通過等離子體刻蝕技術(shù)在鈮酸鋰材料表面形成高深寬比、高垂直度的微納結(jié)構(gòu),支持電子束光刻膠等掩模方式,滿足光波導(dǎo)器件的精密加工需求。

          設(shè)備主要指標(biāo):

          (1)刻蝕反應(yīng)腔室具備加熱功能,加熱溫度≥50℃,加熱區(qū)域包括腔體壁、真空管道、閥、防著板等,防著板加熱溫度≥200℃;

          (2)上電極采用感應(yīng)耦合等離子體源,功率≥2000W,頻率≤13.56MHz,可以調(diào)節(jié)等離子體分布范圍,配置自動(dòng)匹配單元,匹配時(shí)間≤3秒,反射功率≤1%;

          (3)下電極配置偏壓射頻源,功率≥1000W,頻率≥12.5MHz,配備自動(dòng)匹配單元,匹配時(shí)間≤3秒,反射功率≤1%(輸出功率≥300W)或≤2W(輸出功率≤300W)。

          更多技術(shù)指標(biāo)詳見第八章。

          1.4 數(shù)量:1套。

          1.5 交貨期:合同簽訂后2個(gè)月內(nèi)到貨驗(yàn)收。

          1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng):中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所指定地點(diǎn)。

          2. 對(duì)投標(biāo)人的資格要求

          2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織,具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力。

          2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo),代理商必須獲得制造商的合法授權(quán),提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直接開具的;或制造商的獨(dú)資公司開具的(同時(shí)須提供制造商與獨(dú)資子公司的關(guān)系說明,并由雙方簽字或者蓋章)。

          2.3投標(biāo)人或制造商2022年1月1日至今同品牌同型號(hào)的銷售量≥3套,提供設(shè)備銷售業(yè)績證明(提供有效的合同首頁、技術(shù)協(xié)議及驗(yàn)收?qǐng)?bào)告等證明材料復(fù)印件)。

          2.4本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

          2.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)

          3. 招標(biāo)文件獲取

          3.1 如有疑問,請(qǐng)致電中航工業(yè) 服務(wù)熱線400-890-0880。

          3.2 招標(biāo)文件售價(jià)人民幣800元或112美元,售后款項(xiàng)不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標(biāo)文件費(fèi)用,支付后請(qǐng)自行提交電子發(fā)票申請(qǐng)(需再次進(jìn)入鏈接點(diǎn)擊消費(fèi)記錄后填寫開票信息),電子發(fā)票將自動(dòng)發(fā) 潛在投標(biāo)人將付款憑證(形式不限)和發(fā)票上傳交易平臺(tái),經(jīng)招標(biāo)人(代理機(jī)構(gòu))確認(rèn)后,才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。

          3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè) 注冊(cè),辦理CA數(shù)字證書與電子簽章,否則無法投標(biāo)。(詳見中航工業(yè) 相關(guān)說明)。

          4.

          未在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)(www.dlztb.com)上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先點(diǎn)擊注冊(cè)。登錄成功后的在招標(biāo)會(huì)員區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說明獲取招標(biāo)文件!
          咨詢電話:010-51957458
          手 機(jī):18811547188
          聯(lián)系人:李楊
          QQ:1211306049
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          來源:中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)
          備注:欲購買招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊(cè)網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費(fèi)后,查看項(xiàng)目業(yè)主,招標(biāo)公告并下載資格預(yù)審范圍,資質(zhì)要求,招標(biāo)清單,報(bào)名申請(qǐng)表等。為保證您能夠順利投標(biāo),具體要求及購買標(biāo)書操作流程按會(huì)員區(qū)招標(biāo)信息詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn),以招標(biāo)業(yè)主的解答為準(zhǔn)本。
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