對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024-04-28在公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:甬江實驗室因發展需要，需采購ICPCVD（電感耦合等離子體化學氣相沉積）設備1套。資金到位或資金來源落實情況:項目所需資金已經落實。項目已具備招標條件的說明:項目已具備招標條件。2、招標內容招標項目編號:0762-2441CBNB2011招標項目名稱:甬江實驗室采購ICPCVD(電感耦合等離子體化學氣相沉積)設備項目（重招）項目實施地點:中國浙江省招標產品列表(主要設備):
3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:投標人必須是投標產品的制造商或投標產品的制造商授權的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
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編輯：chinabidding.co
| 序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
| 1 | ICPCVD（電感耦合等離子體化學氣相沉積）設備 | 1套 | ICPCVD（電感耦合等離子體化學氣相沉積）是利用ICP等離子源，增加等離子濃度，以實現在較低的溫度沉積高致密性介質薄膜，如SiO2, SiNx等，用于微納器件的鈍化、介電、填充等功能。主要用于低溫沉積高致密性介質薄膜材料如SiO2，SiNx等用于微納器件，微納光學器件，功率器件的鈍化層、介電層等。 |
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