對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024-04-29在公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:甬江實驗室因發展需要，需采購深硅刻蝕機1套、濕法厚膜沉積設備1套。資金到位或資金來源落實情況:項目所需資金已經落實。項目已具備招標條件的說明:項目已具備招標條件。2、招標內容招標項目編號:0762-2441CBNB2010招標項目名稱:甬江實驗室采購深硅刻蝕機和濕法厚膜沉積設備項目（重招）項目實施地點:中國浙江省招標產品列表(主要設備):
3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:投標人必須是投標產品的制造商或投標產品的制造商授權的代理商，如為代理商需提供制造商針對本項目的授權書是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
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項目 聯系人：李楊
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編輯：chinabidding.co
| 序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
| 1 | 深硅刻蝕機 | 1套 | 真空系統：腔室極限真空≤0.1mTorr，腔室漏氣率≤2mTorr/min，控壓范圍至少包括5mTorr-500mTorr，控壓精度≤±0.1mTorr。 | |
| 2 | 濕法厚膜沉積設備 | 1套 | 預處理模塊：配置預潤濕功能，電鍍前對晶圓表面及TSV深孔等進行有效潤濕并去除晶圓表面顆粒等污染物，真空度≤40torr，漏率＜40torr/min。 |
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