招標(biāo)公告
1. 招標(biāo)條件
本招標(biāo)項(xiàng)目側(cè)墻刻蝕機(jī) 該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對側(cè)墻刻蝕機(jī)進(jìn)行國內(nèi)公開招標(biāo)。2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍
2.1 招標(biāo)編號(hào)：ZKX20240429A049 2.2 招標(biāo)項(xiàng)目名稱：側(cè)墻刻蝕機(jī)。 2.3 數(shù)量：1臺(tái)。 2.4 主要功能要求：半導(dǎo)體制造工藝中，側(cè)墻刻蝕是形成LDD結(jié)構(gòu)必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié)。側(cè)墻結(jié)構(gòu)一般為OX或者OX與SiN的復(fù)合膜結(jié)構(gòu)，為介質(zhì)刻蝕工藝，側(cè)墻刻蝕機(jī)除了完成側(cè)墻刻蝕工藝以外，還可以用來進(jìn)行通孔刻蝕，是半導(dǎo)體制造中必不可少的工序。本項(xiàng)目采購的側(cè)墻刻蝕機(jī)為8英寸全新國產(chǎn)設(shè)備、具備擴(kuò)展SMIF和EAP通訊功能。 2.5 交貨3. 投標(biāo)人資格要求
3.1投標(biāo)人須為具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照。 3.2業(yè)績要求：投標(biāo)人需提供本次投標(biāo)同型號(hào)或同系列的設(shè)備從2020年至今的任意一年的銷售業(yè)績，且一年中累計(jì)銷售量至少5臺(tái)；須提供設(shè)備采購合同復(fù)印件，其內(nèi)容須體現(xiàn)合同首頁及簽字或蓋章頁、合同簽訂時(shí)間、合同標(biāo)的物及其型號(hào)。 3.3 其它要求：本次招標(biāo)不接受代理商投標(biāo)。 3.4本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。 3.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)4.
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編輯：365trade