蘇美達(dá)國(guó)際技術(shù)貿(mào)易 對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2025-04-24在公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。1、招標(biāo)條件項(xiàng)目概況:設(shè)備名稱：多晶硅、硅刻蝕機(jī) 數(shù)量：1臺(tái)設(shè)備原理及用途：基本原理：在射頻電壓的作用下，溴化氫和氯氣產(chǎn)生的等離子體和多晶硅反應(yīng)生成四氯化硅和溴化硅，溴化氫同時(shí)有側(cè)壁淀積作用，防止側(cè)腐，生成物被抽出腔體，最終達(dá)到刻蝕的目的。用途：本設(shè)備為全新設(shè)備，主要用于8英寸MEMS器件各種產(chǎn)品生產(chǎn)中多晶硅導(dǎo)線、硅晶圓標(biāo)記和硅淺槽的刻蝕工藝。資金到位或資金來(lái)源落實(shí)情況:已到位項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說(shuō)明:已具備2、招標(biāo)內(nèi)容招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):0664-2540SUMECA83/03招標(biāo)項(xiàng)目名稱:8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之多晶硅、硅刻蝕機(jī)項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國(guó)安徽省招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
3、投標(biāo)人資格要求投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī):①投標(biāo)人如為境內(nèi)企業(yè)，提供企業(yè)法人營(yíng)業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書(shū)，如為境外企業(yè)提供企業(yè)注冊(cè)登記證。②投標(biāo)人可以是設(shè)備制造廠家，也可以是設(shè)備授權(quán)代理商，代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書(shū)。③投標(biāo)人開(kāi)戶行開(kāi)具的，出具日期在開(kāi)標(biāo)前三個(gè)月內(nèi)的資信證明原件或該原件的復(fù)印件。④投標(biāo)人需要具有履行合同所必需的設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力（提供相關(guān)證明材料或承諾書(shū)，承諾書(shū)格式自擬）。⑤單位負(fù)責(zé)人授權(quán)書(shū)原件。是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受未領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以4、
未曾在中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先注冊(cè)。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說(shuō)明下載投標(biāo)文件！
項(xiàng)目 聯(lián)系人：李楊
咨詢電話：010-51957458
傳真：010-51957412
手機(jī)：13683233285
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備注：欲購(gòu)買招標(biāo)文件的潛在投標(biāo)人,注冊(cè)網(wǎng)站并繳納因特網(wǎng)技術(shù)服務(wù)費(fèi)后，查看項(xiàng)目業(yè)主，招標(biāo)公告，中標(biāo)公示等，并下載資格預(yù)審范圍，資質(zhì)要求，招標(biāo)清單，報(bào)名申請(qǐng)表等。為保證您能夠順利投標(biāo)，具體要求及購(gòu)買標(biāo)書(shū)操作流程按公告詳細(xì)內(nèi)容為準(zhǔn)，以招標(biāo)業(yè)主的解答為準(zhǔn)本。
編輯：chinabidding.co
| 序號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格 | 備注 |
| 1 | 多晶硅、硅刻蝕機(jī) | 1 | 該設(shè)備主要由主控制系統(tǒng)，全自動(dòng)傳輸系統(tǒng)，1個(gè)刻蝕工藝腔，尾氣處理系統(tǒng)以及相應(yīng)的射頻系統(tǒng)，氣路系統(tǒng)，制冷系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等模塊組成。設(shè)備按照滿配來(lái)配置相關(guān)氣管、Cable、電磁閥、pμmp liner和gas liner等，便于未來(lái)增加工藝腔體（設(shè)備主體需要至少保留增加2個(gè)工藝腔的ai、ao、di/o、stepper等）。其他參數(shù)詳見(jiàn)第八章 | 無(wú) |
未曾在中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)（www.dlztb.com）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先注冊(cè)。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說(shuō)明下載投標(biāo)文件！
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