8英寸MEMS晶圓生產線之多晶硅、硅刻蝕機國際招標公告(2)

蘇美達國際技術貿易 對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2025-05-15在公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:設備名稱：多晶硅、硅刻蝕機數量：1臺設備原理及用途：基本原理：在射頻電壓的作用下，溴化氫和氯氣產生的等離子體和多晶硅反應生成四氯化硅和溴化硅，溴化氫同時有側壁淀積作用，防止側腐，生成物被抽出腔體，最終達到刻蝕的目的。用途：本設備為全新設備，主要用于8英寸MEMS器件各種產品生產中多晶硅導線、硅晶圓標記和硅淺槽的刻蝕工藝。資金到位或資金來源落實情況:已到位項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內容招標項目編號:0664-2540SUMECA83/03招標項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產線之多晶硅、硅刻蝕機項目實施地點:中國安徽省招標產品列表(主要設備):

序號	產品名稱	數量	簡要技術規格	備注
1	多晶硅、硅刻蝕機	1	該設備主要由主控制系統，全自動傳輸系統，1個刻蝕工藝腔，尾氣處理系統以及相應的射頻系統，氣路系統，制冷系統、真空系統等模塊組成。設備按照滿配來配置相關氣管、Cable、電磁閥、pμmp liner和gas liner等，便于未來增加工藝腔體（設備主體需要至少保留增加2個工藝腔的ai、ao、di/o、stepper等）。其他參數詳見第八章	無

3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:①投標人如為境內企業，提供企業法人營業執照或事業單位法人證書，如為境外企業提供企業注冊登記證。②投標人可以是設備制造廠家，也可以是設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書。③投標人開戶行開具的，出具日期在開標前三個月內的資信證明原件或該原件的復印件。④投標人需要具有履行合同所必需的設備技術支持和服務能力（提供相關證明材料或承諾書，承諾書格式自擬）。⑤單位負責人授權書原件。是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
未曾在中國電力招標采購網（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載投標文件！

項目 聯系人：李楊  
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備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后，查看項目業主，招標公告，中標公示等，并下載資格預審范圍，資質要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內容為準，以招標業主的解答為準本。

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