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招標項目編號：0729-254OIT301685
項目名稱：中國科學院上海技術物理研究所低溫超深寬比反應離子刻蝕系統采購項目
項目名稱（英文）：Low temperature ultra aspect ratio reactive ion etching system procurement project of Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences
招標機構：東方國際
招標方式：公開招標
招標結果：重新招標
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