1. 招標條件
本招標項目CD-SEM線寬全自動測量系統(tǒng) 該項目已具備招標條件，現(xiàn)對CD-SEM線寬全自動測量系統(tǒng)進行國內(nèi)公開招標。
2. 項目概況與招標范圍
2.1 招標編號：ZKX20250341A074
2.2 招標項目名稱：CD-SEM線寬全自動測量系統(tǒng)
2.3 數(shù)量：壹套
2.4 設(shè)備用途及系統(tǒng)組成：
設(shè)備用途：CD-SEM線寬全自動測量系統(tǒng)主要應(yīng)用于光柵磁光阱芯片、波導(dǎo)芯片的光刻工藝之后，200~1000nm分辨率光刻線寬的全自動測量。
系統(tǒng)組成：CD-SEM線寬全自動測量系統(tǒng)主要由控制臺、主機、載片控制單元、冷水機、干式真空泵等組成。
2.5 交貨
2.6 交貨期：合同簽訂后4個月內(nèi)到貨。
3. 投標人資格要求：
3.1 投標人須具有獨立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。
3.2 本次招標不接受聯(lián)合體投標。
3.3本次招標接受代理商投標。一個制造商對同一品牌同一型號的設(shè)備，僅能委托一個代理商參加投標。提供制造商針對本項目（帶本項目招標編號）的授權(quán)書（原件）。
3.4 財務(wù)要求：投標人應(yīng)附2024年經(jīng)會計師事務(wù)所或?qū)徲嫏C構(gòu)審計的財務(wù)會計報表，包括審計報告正文、資產(chǎn)負債表、現(xiàn)金流量表、利潤表的復(fù)印件。投標人的成立時間少于上述規(guī)定年份的，應(yīng)提供成立以來的財務(wù)報表。投標人為科研院所、高等院校等事業(yè)單位的可提供經(jīng)審計的或單位內(nèi)審的2024年財務(wù)報表。
3.5 業(yè)績要求：投標廠商2022年至今有交付的CD-SEM類設(shè)備3個以上（含3個）的成功案例，且提供有效的合同復(fù)印件、合同復(fù)印件對應(yīng)的發(fā)票復(fù)印件或驗收報告或收款證明等文件；
3.6 信譽要求：投標人在經(jīng)營活動中，無嚴重違法失信記錄，具有良好的信譽。提供相關(guān)證明材料（如信用中國或國家企業(yè)信用信息公示系統(tǒng)或中國執(zhí)行信息公開網(wǎng)的查詢結(jié)果）或信譽承諾書。
3.7 投標人必須向招標代理機構(gòu)