1. 招標條件
本招標項目CD-SEM線寬全自動測量系統 該項目已具備招標條件，現對CD-SEM線寬全自動測量系統進行國內公開招標。
2. 項目概況與招標范圍
2.1 招標編號：ZKX20250341A074
2.2 招標項目名稱：CD-SEM線寬全自動測量系統
2.3 數量：壹套
2.4 設備用途及系統組成：
設備用途：CD-SEM線寬全自動測量系統主要應用于光柵磁光阱芯片、波導芯片的光刻工藝之后，200~1000nm分辨率光刻線寬的全自動測量。
系統組成：CD-SEM線寬全自動測量系統主要由控制臺、主機、載片控制單元、冷水機、干式真空泵等組成。
2.5 交貨
2.6 交貨期：合同簽訂后4個月內到貨。
3. 投標人資格要求：
3.1 投標人須具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照或事業單位法人證書或其它營業登記證書。
3.2 本次招標不接受聯合體投標。
3.3本次招標接受代理商投標。一個制造商對同一品牌同一型號的設備，僅能委托一個代理商參加投標。提供制造商針對本項目（帶本項目招標編號）的授權書（原件）。
3.4 財務要求：投標人應附2024年經會計師事務所或審計機構審計的財務會計報表，包括審計報告正文、資產負債表、現金流量表、利潤表的復印件。投標人的成立時間少于上述規定年份的，應提供成立以來的財務報表。投標人為科研院所、高等院校等事業單位的可提供經審計的或單位內審的2024年財務報表。
3.5 業績要求：投標廠商2022年至今有交付的CD-SEM類設備3個以上（含3個）的成功案例，且提供有效的合同復印件、合同復印件對應的發票復印件或驗收報告或收款證明等文件；
3.6 信譽要求：投標人在經營活動中，無嚴重違法失信記錄，具有良好的信譽。提供相關證明材料（如信用中國或國家企業信用信息公示系統或中國執行信息公開網的查詢結果）或信譽承諾書。
3.7 投標人必須向招標代理機構