投標邀請
等離子體增強化學氣相沉積設備項目已具備招標條件。資金情況已落實。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。 1. 招標范圍 1.1 貨物名稱：等離子體增強化學氣相沉積設備 1.2 招標編號：0779-26400341A009 1.3 項目概況 設備通過感應耦合等離子體方式（ICP）產生高密度等離子體，在硅及化合物半導體等襯底上沉積高質量的介質薄膜（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等）。 設備主要指標： （1）樣品尺寸：最大6英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規則碎片，不同尺寸樣片之間的切換、無需反應腔室的開腔破真空； （2）反應腔室本底真空≤ 1E-6 mbar，真空漏率≤ 2E-4 mbar·L/s； （3）溫度控制：采用背氦傳熱的動態溫度控制系統，溫度控制范圍不小于 +30℃~+300℃，溫度控制精度≤±1℃。 更多技術指標詳見第八章。 1.4 數量：1套。 1.5 交貨期：合同簽訂生效后8個月內到達用戶現場。 1.6 項目現場：中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。 2. 對投標人的資格要求 2.1 投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任能力。 2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。授權書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。 2.3投標人所投標設備2023年1月1日至今同品牌同型號的銷售量≥3套，提供設備銷售業績證明（提供有效合同首頁，技術協議及驗收報告等證明材料，證明材料需有雙方蓋章） 2.4本項目不接受聯合體投標。 2.5投標人必須向招標代理機構 3. 招標文件獲取 3.1 如有疑問，請致電中航工業 服務熱線400-890-0880。 3.2 招標文件售價人民幣800元或112美元，售后款項不予退還。潛在投標人應通過本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標文件費用，支付后請自行提交電子發票申請(需再次進入鏈接點擊消費記錄后填寫開票信息)，電子發票將自動發 潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發票上傳交易平臺，經招標人(代理機構)確認后，才能獲得招標文件的下載權限。 3.3 投標人必須在中航工業 注冊，辦理CA數字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見中航工業 相關說明）。 4.未在中國電力招標采購網（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后的在招標會員區根據招標公告的相應說明獲取招標文件！
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來源：中國電力招標采購網
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后，查看項目業主，招標公告并下載資格預審范圍，資質要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按會員區招標信息詳細內容為準，以招標業主的解答為準本。
編輯：365trade