等離子體增強化學氣相沉積設備項目已具備招標條件。資金情況已落實。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受西安飛行自動控制研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。
1. 招標范圍
1.1 貨物名稱：等離子體增強化學氣相沉積設備
1.2 招標編號：0779-26400341A009
1.3 項目概況
設備通過感應耦合等離子體方式（ICP）產生高密度等離子體，在硅及化合物半導體等襯底上沉積高質量的介質薄膜（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等）。
設備主要指標：
（1）樣品尺寸：最大6英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規則碎片，不同尺寸樣片之間的切換、無需反應腔室的開腔破真空；
（2）反應腔室本底真空≤ 1E-6 mbar，真空漏率≤ 2E-4 mbar·L/s；
（3）溫度控制：采用背氦傳熱的動態溫度控制系統，溫度控制范圍不小于 +30℃~+300℃，溫度控制精度≤±1℃。
更多技術指標詳見第八章。
1.4 數量：1套。
1.5 交貨期：合同簽訂生效后8個月內到達用戶現場。
1.6 項目現場：西安飛行自動控制研究所指定地點。
2. 對投標人的資格要求
2.1 投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任能力。
2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。授權書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。
2.3投標人所投標設備2023年1月1日至今同品牌同型號的銷售量≥3套，提供設備銷售業績證明（提供有效合同首頁，技術協議及驗收報告等證明材料，證明材料需有雙方蓋章）
2.4本項目不接受聯合體投標。
2.5投標人必須向招標代理機構
3. 招標文件獲取
3.1 如有疑問，請致電中航工業電子采購平臺服務熱線400-890-0880。
3.2 招標文件售價人民幣800元或112美元，售后款項不予退還。潛在投標人應通過本鏈接: k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標文件費用，支付后請自行提交電子發票申請(需再次進入鏈接點擊消費記錄后填寫開票信息)，電子發票將自動發 潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發票上傳交易平臺，經招標人(代理機構)確認后，才能獲得招標文件的下載權限。
3.3 投標人必須在中航工業電子采購平臺注冊，辦理CA數字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見中航工業電子采購平臺相關說明）。
4.
未在中國電力招標采購網（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后的在 招標會員 區根據招標公告的相應說明獲取招標文件！
咨詢電話：010-51957458
手 機：18811547188
聯系人：李楊
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郵箱：1211306049@qq.com
來源：中國電力招標采購網
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術及商務信息服務費后，查看項目業主，招標公告并下載資格預審范圍，資質要求，
招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按會員區招標信息詳細內容為準。
編輯：hnjmrh.gov