中國儀器進出口集團 對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2024-04-30在公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。1、招標條件項目概況:設備名稱：離子束刻蝕機設備數量：1臺設備用途：主要用于8英寸MEMS工藝中的金屬膜層（Au、Ti）的刻蝕加工。資金到位或資金來源落實情況:資金已到位項目已具備招標條件的說明:已具備2、招標內容招標項目編號:0709-244035614023招標項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產線之離子束刻蝕機項目實施地點:中國安徽省招標產品列表(主要設備):
3、投標人資格要求投標人應具備的資格或業績:（1）投標人是響應招標、已在招標人或招標機構處領購招標文件并參加投標競爭的法人或其他組織。任何未在招標人或招標機構處領購招標文件的法人或其他組織均不得參加投標。（2）凡是來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿易往來的國家或地區的法人或其他組織均可投標。（3）與招標人存在利害關系可能影響招標公正性的法人或其他組織不得參加投標。（4）接參與項目前期咨詢和招標文件編制的法人或其他組織不得參加一家代理商參與本項目投標。同一品牌的制造商和代理商不能同時參加本項目的投標。（11）投標人可以是設備制造廠家或設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書；并且具有設備技術支持和服務能力。（12）投標人可以是設備制造廠家或設備再制造廠商，也可以是設備授權代理商，代理商需有設備原廠家的有效授權書；并且具有設備技術支持和服務能力。要求2020年至今同類型設備出貨量與驗收數量大于10臺，國產設備與再制造廠商提供合同和驗收材料，進口全新設備出具蓋章的業績說明材料。（13）試樣要求：招標人有權利依次對滿足標書要求的設備進行樣品試制，試制樣品須滿足本標書第三條（主要技術指標）中樣品試制要求。招標方提供樣片給投標方，投標方使用參與投標的同型號設備，測試過程由招標方進行現場監督，招標方按照試制樣品驗收指標要求進行工藝測試，測試完成后提交招標方檢測評估，檢測評估合格，投標方才具備投標資格。是否接受聯合體投標:不接受未領購招標文件是否可以參加投標:不可以4、
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編輯：chinabidding.co
| 序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
| 1 | 離子束刻蝕機 | 1套 | *刻蝕工藝腔 要求腔室內部安裝有易拆卸替換的專用內襯板、柵網、觀察窗、石英放電腔等，可實現設備真空腔室的快速清理和維護，要求設備配備兩套內襯板，兩套柵網，兩套石英放電腔、兩套觀察窗、兩套中和器，一套在用，一套備用；工藝腔室為模塊化平臺構造，包含氣體氣路、腔室本體、ESC下電極、電源分配模塊接口、傳送腔體接口等；對于刻蝕窗口暴露面積超過10%的晶圓，具備終點檢測抓取能力。 對于厚度300μm～1100μm的8英寸晶圓片，金（Au）薄膜刻蝕應滿足以下指標： *（1）金（Au）刻蝕速率≥800？/min； |
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