1. 招標(biāo)條件
本招標(biāo)項(xiàng)目氮化硅/硅光波導(dǎo)刻蝕機(jī) 該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對(duì)氮化硅/硅光波導(dǎo)刻蝕機(jī)采購(gòu)進(jìn)行國(guó)內(nèi)公開(kāi)招標(biāo)。
2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍
2.1 招標(biāo)編號(hào)：ZKX20260341A008
2.2 招標(biāo)項(xiàng)目名稱(chēng)：氮化硅/硅光波導(dǎo)刻蝕機(jī)
2.3 數(shù)量：壹套
2.4 設(shè)備用途及系統(tǒng)組成：
設(shè)備用途：該設(shè)備利用高頻電磁場(chǎng)通過(guò)感應(yīng)耦合方式產(chǎn)生高密度等離子體，實(shí)現(xiàn)高精度、高選擇性和高深寬比的介質(zhì)薄膜刻蝕（例如氧化硅、氮化硅、硅等）。
系統(tǒng)組成：氮化硅/硅光波導(dǎo)刻蝕機(jī)主要由工藝腔室、等離子體系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、傳輸系統(tǒng)及控制系統(tǒng)等組成。
2.5 交貨
2.6 交貨期：合同簽訂后5個(gè)月內(nèi)到貨。
3.投標(biāo)人資格要求：
3.1 投標(biāo)人須具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國(guó)境內(nèi)注冊(cè)的法人或其他組織，具備有效的營(yíng)業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書(shū)或其它營(yíng)業(yè)登記證書(shū)。
3.2 本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
3.3 本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，一個(gè)制造商對(duì)同一品牌同一型號(hào)的設(shè)備，僅能委托一個(gè)代理商參加投標(biāo)。提供制造商的唯一授權(quán)書(shū)原件。(本設(shè)備指“氮化硅/硅光波導(dǎo)刻蝕機(jī)”)
3.4 財(cái)務(wù)要求：投標(biāo)人應(yīng)附2024年經(jīng)會(huì)計(jì)師事務(wù)所或?qū)徲?jì)機(jī)構(gòu)審計(jì)的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)報(bào)表，包括審計(jì)報(bào)告正文、資產(chǎn)負(fù)債表、現(xiàn)金流量表、利潤(rùn)表的復(fù)印件。投標(biāo)人的成立時(shí)間少于上述規(guī)定年份的，應(yīng)提供成立以來(lái)的財(cái)務(wù)報(bào)表。投標(biāo)人為科研院所、高等院校等事業(yè)單位的可提供經(jīng)審計(jì)的或單位內(nèi)審的2024年財(cái)務(wù)報(bào)表。
3.5 業(yè)績(jī)要求：投標(biāo)人或制造商2022年1月1日至今同品牌同型號(hào)的銷(xiāo)售量≥3套，提供設(shè)備銷(xiāo)售業(yè)績(jī)證明（提供有效合同首頁(yè)，技術(shù)協(xié)議及驗(yàn)收?qǐng)?bào)告等證明材料，證明材料需有雙方蓋章）。
3.6 信譽(yù)要求：投標(biāo)人在經(jīng)營(yíng)活動(dòng)中，無(wú)嚴(yán)重違法失信記錄，具有良好的信譽(yù)。提供相關(guān)證明材料（如信用中國(guó)或各級(jí)信用信息共享平臺(tái)的查詢(xún)結(jié)果）或信譽(yù)承諾書(shū)。
3.7 投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)